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参观范围

1镀膜材料：金属膜料、氧化物、氟化物、硫化物、钛酸物、混合物等各种膜材、镀膜蒸发料；PVD涂层、TiN涂层、TiC涂层、TiCN涂层、ZrN涂层、CrN涂层、MoS2涂层、TiAlN涂层、TiAlCN涂层、TiN-AlN涂层、CNx涂层、DLC涂层、ta－C涂层等多元复合涂层；靶材：溅射靶材、金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材、合金靶材、单晶靶材、氧化物靶材、硼化物靶材、碳化物靶材、贵金属靶材、稀有金属靶材（钛、铌、锆、镍、钽、钨、钼、铪、铬、银等），单一金属靶材、蒸发材料、特种靶材等各类靶材；

2低温超导薄膜：低熔点超导薄膜：低熔点超导薄膜，合金薄膜；高熔点超导薄膜：难熔金属，合金薄膜；化合物超导薄膜： NbN和Nb3Sn、Nb3Ge薄膜；

3高温超导薄膜：钇系薄膜、铋系薄膜和铊系薄膜；

4功能薄膜：光学薄膜，背光/显示用膜，显示屏用膜，产业用薄膜，光伏薄膜；

5镀膜设备：真空镀膜机、真空蒸镀设备、光学镀膜机、溅射镀膜机、眼镜镀膜机、光纤镀膜、CVD设备、MOCVD设备、薄膜沉积设备、玻璃镀膜设备、磁控镀膜、蒸镀设备、离子束沉积设备、电子枪、离子源；蒸发沉积掩膜、晶振片、镀膜夹具、配件、仪器、镀膜测试与监控设备、膜厚监测仪、镀膜牢固度测试器等；

6镀膜材料生产加工设备：冷等静压机，热等静压机，磁控溅射热蒸发，铜带铜铟硫技术与设备，高温钎焊炉，烧结炉，中频感应炉，电子束区熔炉，电子束熔炼炉，大面靶材钎焊炉等；

7超导器件：超导隧道器件，超导量子干涉器件，

8薄膜成型机械、检测检验仪器、特殊装置、薄膜原料及化工产品；

9洁净工程：洁净、防护系统，屏蔽防护产品、屏蔽机房设备、屏蔽桌/台/柜，安全防护服、洁净室耗材、防静电产品等；