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展品范围

◆、镀膜材料：金属膜料、氧化物、氟化物、硫化物、钛酸物、混合物等各种膜材、镀膜蒸发料；PVD涂层、TiN涂层、TiC涂层、TiCN涂层、ZrN涂层、CrN涂层、MoS2涂层、TiAlN涂 层、TiAlCN涂层、TiN-AlN涂层、CNx涂层、DLC涂层、ta－C涂层等多元复合涂层；靶材：溅射靶材、金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材、合金靶材、单晶靶材、氧化物靶材、硼化物靶材、碳化物靶材、贵金属靶材、稀有金属靶材（钛、铌、锆、镍、钽、钨、钼、铪、铬、银等），单一金属靶材、蒸发材料、特种靶材等各类靶材；

◆、低温超导薄膜：低熔点超导薄膜：低熔点超导薄膜，合金薄膜；高熔点超导薄膜：难熔金属，合金薄膜；化合物超导薄膜： NbN和Nb3Sn、Nb3Ge薄膜；

◆、高温超导薄膜：钇系薄膜、铋系薄膜和铊系薄膜；

◆、功能薄膜：光学薄膜，背光/显示用膜，显示屏用膜，产业用薄膜，光伏薄膜；

◆、镀膜设备：真空镀膜机、真空蒸镀设备、光学镀膜机、溅射镀膜机、眼镜镀膜机、光纤镀膜、CVD设备、MOCVD设备、薄膜沉积设备、玻璃镀膜设备、磁控镀膜、蒸镀设备、离子束沉积设备、电子枪、离子源；蒸发沉积掩膜、晶振片、镀膜夹具、配件、仪器、镀膜测试与监控设备、膜厚监测仪、镀膜牢固度测试器等；

◆、镀膜材料生产加工设备：冷等静压机，热等静压机，磁控溅射热蒸发，铜带铜铟硫技术与设备，高温钎焊炉，烧结炉，感应炉，电子束区熔炉，电子束熔炼炉，大面靶材钎焊炉等；

◆、超导器件：超导隧道器件，超导量子干涉器件，

◆、薄膜成型机械、检测检验仪器、特殊装置、薄膜原料及化工产品；

◆、洁净工程：洁净、防护系统，屏蔽防护产品、屏蔽机房设备、屏蔽桌/台/柜，安全防护服、洁净室耗材、防静电产品等；

参观须知

1、参展展品按类别分馆，请观众查询现场示意图。

2、网上登记观众凭确认短信或自助打印的确认函至预登记观众专用通道换取参观证件，直接进馆参观。

3、参观时请注意保管好您的随身物品。

4、携带儿童的观众，请做好监护工作，防止发生意外。

5、请观众遵守展馆的相关规定，共同维护展馆的整洁环境。

6、禁止携带易燃易爆等危险物品及动物进入展馆。

7、未经组委会授权，任何机构或个人不得擅自对参观观众进行调查、民意测验、募捐或捐赠。